黄色氧化钨气敏传感器
黄色氧化钨(WO3)是一种n型过渡金属半导体,可作为半导体气敏传感器。WO3已被认为是检测NOx、SOx、NH3、CO、氢气、硫化氢等最有前景的新型氧化物气敏材料之一,其原理是当它暴露于气体中时,从空气中被吸附的氧作为一种电子的受主态处于三氧化钨材料的禁带,表面反应导致了受主态在部分表面覆盖度的变化,从而引起了电导率的变化,达到检测特定气体浓度的效果。
关于氧化钨气敏传感器的研究成果很多,例如:
1. WO3薄膜气敏传感器,以钨为靶材通过对向靶磁控溅射法,在覆有叉指铂电极的基片上制备,再经热处理得到;
2. WO3氢气光纤传感器,以多模二氧化硅为载体,钨薄膜通过射频溅射沉淀在光纤头部,再腐蚀为钨酸薄膜,而后控制一定温度煅烧,得到黄色氧化钨氢气光纤传感器;
3. 多孔硅基底WO3纳米薄膜气敏传感器,综合了多孔硅和WO3的优势,形成具有工作温度低(室温)、灵敏度高特点的气敏传感器;
4. Pt,Pd和Rh均匀分布的介孔WO3纳米纤维,在疾病可靠性诊断方面有非常大的应用前景;
5. 氧化钨纳米线CO气敏传感器,以分析纯二水合钨酸钠(Na2WO4.2H2O)为原料,加入硫酸钾(K2SO4),制得黄钨纳米线,再制成敏感料浆涂覆在被有叉指银电极的氧化铝基板上,热处理得到。
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