黄色氧化钨电致变色薄膜

黄色氧化钨即三氧化钨，是无机电致变色材料的典型代表，目前以三氧化钨（WO₃）为功能材料的电致变色器件已经产业化。黄色氧化钨电致变色薄膜是利用三氧化钨的电致变色特性，以物理气相沉积、化学气相沉积、电子束蒸镀法等多种方法进行制备，成本低廉、循环可逆性好、光学性能好、颜色变换快等优势，可用于智能窗、建筑玻璃、汽车后视镜及其它领域。其变色机理的化学式如下：
WO₃ (无色) +xM+xe→Mx WO₃（深蓝色）

薄膜镀层会因为吸收外来的能量而使薄膜颜色改变这种材料称之为电致色变材料，三氧化钨膜的电致变色作用与其微观结构有密切关系，这些材料依照吸收不同能量的方式而有不同的名称分为三种：
1. 电致色变材料；
2. 热致色变材料；
3. 光致色变。

采用射频磁控溅镀法（Radio Refrequence Magnetron Sputtering）制备陶瓷靶三氧化钨薄膜的步骤如下：
1. 基材在使用前先将导电玻璃ITO做清洁，顺序为使用去离子水（DI Water）、酒精（Ethanol)、丙酮（Acetone）以超音波震荡机各震荡15分钟清除表面污渍及有机物；
2. 取出试片吹干，迅速放入真空腔中准备溅镀；
3. 基材置入真空室后，先以机械回转泵（Machine Pump）抽至3×10^-3左右，再使用冷凝帮浦抽至2×10^-6以下持续半小时，并且加热基板到实验温度，此时导入Ar气氛O₂氧气在不同的氧气氛下沉积，靶材表面溅镀前处理以去除杂质及氧化层，调整溅射功率到（100W）。

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