黃色氧化鎢靶材
黃色氧化鎢靶材是以黃鎢（WO3）作爲鍍膜靶材，通過磁控濺射、多弧離子鍍或其他類型的鍍膜系統在適當工藝條件下濺射在基板上形成WO3功能薄膜。WO3薄膜是一種重要的功能材料，具有優良的電致變色性能，而被廣泛應用。黃色氧化鎢靶材常見的製備方法有固相法、液相法和氣相法；采用一般電子陶瓷的製備方法，其工藝流程一般爲：球磨混料—壓制成型—燒結。
黃色氧化鎢靶材的SEM分析表明，不同溫度下燒結的黃鎢樣品的緻密度、晶粒之間結合强度有不同，如1000℃的時候坯體中相互接觸的粉末顆粒之間通過傳質過程形成一定程度的界面，幷通過其生長使坯體産生收縮，這時樣品的晶粒之間結合强度仍然較低，塊體的緻密度也不高，可以明顯的觀察到顆粒之間的各種空隙，靶材燒結程度不高；而當溫度達到1100℃的時候，空隙有所减少，晶界增加，樣品的緻密程度得到一定提高；當燒結溫度達到合理燒結溫度1200℃時，WO3晶粒的大小和分布都比較均勻，晶粒發育完全，晶粒之間形成有力地結合，晶界進一步增大。
上圖中，a爲1000℃下WO3靶材的SEM圖譜；b爲1100℃下WO3靶材的SEM圖譜；c爲1200℃下WO3靶材的SEM圖譜。
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