黃色氧化鎢電致變色薄膜
黃色氧化鎢即三氧化鎢，是無機電致變色材料的典型代表，目前以三氧化鎢（WO3）爲功能材料的電致變色器件已經産業化。黃色氧化鎢電致變色薄膜是利用三氧化鎢的電致變色特性，以物理氣相沉積、化學氣相沉積、電子束蒸鍍法等多種方法進行製備，成本低廉、循環可逆性好、光學性能好、顔色變換快等優勢，可用于智能窗、建築玻璃、汽車後視鏡及其它領域。其變色機理的化學式如下：
WO3 (無色) +xM+xe→Mx WO3（深藍色）
薄膜鍍層會因爲吸收外來的能量而使薄膜顔色改變這種材料稱之爲電致色變材料，三氧化鎢膜的電致變色作用與其微觀結構有密切關係，這些材料依照吸收不同能量的方式而有不同的名稱分爲三種：
1. 電致色變材料；
2. 熱致色變材料；
3. 光致色變。
采用射頻磁控濺鍍法（Radio Refrequence Magnetron Sputtering）製備陶瓷靶三氧化鎢薄膜的步驟如下：
1. 基材在使用前先將導電玻璃ITO做清潔，順序爲使用去離子水（DI Water）、酒精（Ethanol)、丙酮（Acetone）以超音波震蕩機各震蕩15分鐘清除表面污漬及有機物；
2. 取出試片吹幹，迅速放入真空腔中準備濺鍍；
3. 基材置入真空室後，先以機械回轉泵（Machine Pump）抽至3×10-3左右，再使用冷凝幫浦抽至2×10-6以下持續半小時，幷且加熱基板到實驗溫度，此時導入Ar氣氛O2氧氣在不同的氧氣氛下沉積，靶材表面濺鍍前處理以去除雜質及氧化層，調整濺射功率到（100W）。
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