Sarı Tungsten Oksit Hedefi

Sarı tungsten oksit hedefi, uygun işlem koşulları altında püskürterek substrat üzerinde WO3 işlevsel filmi oluşturmak üzere bir kaplama hedefi olarak WO3 ve çoklu ark iyon kaplaması veya başka türde kaplama sistemi ile magnetron püskürtme yöntemiyle oluşturulmuştur. WO3 ince film önemli bir fonksiyonel malzemedir, mükemmel elektrokromik özelliklere sahiptir ve yaygın olarak kullanılmaktadır. Sarı tungsten oksit hedefinin ortak hazırlanma yöntemleri katı faz yöntemi, sıvı faz yöntemi ve buhar fazı yöntemidir. Hazırlama işlemi aşağıdaki gibidir: bilyalı öğütme-presleme-sinterleme.

Sarı tungsten oksit hedef SEM analizi, farklı sıcaklıkta kalsine edilmiş YTO örneğinin yoğunluk, kristalin bağlanma gücü arasında farklılıklara sahip olduğunu gösteriyor. SEM'in altında farklı sıcaklıkta sinterlenmiş sarı tungsten oksit hedefi vardır.