Gelbes Wolframoxid-Ziel

Ein gelbes Wolframoxid-Target wird unter Verwendung von WO3 als Beschichtungsziel und Magnetron-Sputtering durch mehrfache Bogen-Ionenplattierung oder andere Arten von Beschichtungssystemen zur Bildung eines WO3-Funktionsfilms auf dem Substrat durch Sputtern unter geeigneten Verfahrensbedingungen gebildet. WO3-Dünnfilm ist ein wichtiges funktionelles Material, besitzt ausgezeichnete elektrochrome Eigenschaften und ist weit verbreitet. Die üblichen Herstellungsverfahren für gelbes Wolframoxid-Target sind Festphasenverfahren, Flüssigphasenverfahren und Dampfphasenverfahren. Herstellungsverfahren ist wie folgt: Kugelfräsen-Pressen-Sintern.

Gelbe Wolframoxid-Ziel-SEM-Analyse zeigt, dass unter einer unterschiedlichen Temperatur die kalzinierte YTO-Probe Unterschiede zwischen der Dichte, der kristallinen Bindungsstärke aufweist. Unterhalb SEM ist gelb Wolframoxid Ziel gesintert unter verschiedenen Temperatur.