YTO Elektrochromischer Dünnfilm

Gelbes Wolframoxid ist wichtiges anorganisches elektrochromes Material, heutzutage nutzt die elektrochrome Vorrichtung WO3 als Rohmaterial in die industrielle Produktion. Der elektrochrome Dünnfilm aus Wolframoxid verwendet die elektrochrome Eigenschaft von WO3, die durch physikalische Gasphasenabscheidung, chemische Dampfphasenabscheidung und Elektrodenverdampfung mit einer geringen Kosten, einer gut zyklischen Reversibilität, einer optischen Eigenschaft, einer schnellen Farbänderungseigenschaft hergestellt wird. Es kann im intelligenten Fenster, im Gebäudefenster, im Rückspiegel und in anderem Feld angewendet werden. Der Farbwechselmechanismus: WO3 (colorless) +xM+xe→Mx WO3（dark blue）

Gelbe Wolframoxid-Elektrochromie bezieht sich auf seine Mikrostruktur, kann es in drei verschiedene Gruppen nach seinem unterschiedlichen Verfahren in der absorbierenden Energie unterteilt werden, umfasst elektrochromes Material, thermochromes Material und photochromes Material.

Radiofrequenz-Magnetron Sputtering produziert keramische Ziel gelbem Wolframoxid elektrochromen Dünnfilm-Prozess:

1.Saubere ITO zuerst mit deionisiertem Wasser, Ethanol, Aceton und Ultraschall-Oszillationsmaschine, jeweils für 15 Minuten.

2.Nehmen Sie den Testblock heraus und blasen Sie ihn in die Vakuumkammer für die Sputterbeschichtung.

3.Nachdem das Substrat in eine Vakuumkammer gegeben worden war, wurde es auf etwa 3 x 10 & supmin; ³ gepumpt und dann für eine halbe Stunde auf 2 x 10 & supmin; & sup6; kondensiert. Das Substrat wird auf die beste Temperatur erhitzt. Dann wird Ar-Gas zur O & sub2; -Atmosphäre eingeführt, um sich in einer unterschiedlichen Sauerstoffatmosphäre abzuscheiden, die Oberfläche des Targets wird gesputtert, um Verunreinigungen und Oxidschichten zu entfernen, die Zerstäubungsleistung wird auf 100 W eingestellt.