Желтый оксид вольфрама Электрохромные тонкоплёночном
Желтый оксид вольфрама является важным неорганическим электрохромное материал, в настоящее время электрохромное устройство использует WO3 в качестве сырья был введен в промышленное производство. Желтый оксид вольфрама электрохромное тонкая пленка использует электрохромное свойство WO3, полученного путем физического осаждения из паровой фазы фазы, химическое осаждение из паровой фазы и электро-лучевого испарения с низкой стоимостью, а циклической обратимости, оптического свойства, быстро изменение цвета имущества. Он может быть применен в смарт-окна, окно, зеркало заднего вида и другие области строительства. Его цвет меняется механизм: WO3 (colorless) +xM+xe→Mx WO3(dark blue)
Желтый оксид вольфрама электрохромизм связан с его микроструктуры, ее можно разделить на три различные группы в соответствии с ее другим способом в поглощающие мощности включает в себя электрохромного материала, thermalchromic материал и фотохромные материалы.
магнетронного распыления Радио производит керамические мишени из оксида электрохромное тонкий процесс пленки желтого вольфрама:
1.Чистый ИТО сначала с деионизированной водой, этанолом, ацетоном и ультразвуковой машины колебаний, каждый в течение 15 минут.
2.Извлеките тест-блок и взорвать его, поместить его в вакуумную камеру для напыления покрытия.
3.После того, как подложка помещается в вакуумную камеру, он был накачан до приблизительно 3 × 10-3, а затем конденсируют до 2 × 10-6 в течение получаса. Субстрат нагревают до оптимальной температурой. Затем ввести Ar газ в атмосфере O2 внести в различной атмосфере кислорода, поверхность мишени распыляется для удаления примесей и оксидного слоя, мощность ионного распыления доводят до 100 Вт.