Alvo de óxido de tungstênio amarelo
O alvo de óxido de tungsténio amarelo é formado por utilização de WO3 como alvo de revestimento e pulverização por magnetrão, por revestimento com iões múltiplos de arco ou outros tipos de sistema de revestimento para formar a película funcional WO3 no substrato por pulverização catódica sob condições de processo apropriadas. A película fina WO3 é um material funcional importante, tem excelentes propriedades electrocrómicas e é amplamente utilizada. Os métodos comuns de preparação do alvo de óxido de tungstênio amarelo são o método em fase sólida, o método em fase líquida eo método em fase vapor. O processo de preparação é o seguinte: moagem de esferas - prensagem - corte.
A análise de SEM de óxido de tungsténio amarelo mostra que sob diferentes temperaturas, a amostra de YTO calcinada apresenta diferenças entre a densidade, a força de ligação cristalina. Abaixo de SEM é alvo de óxido de tungstênio amarelo sinterizado sob diferentes temperaturas.