YTO Electrochromic Thin Film
O óxido de tungstênio amarelo é importante material eletrocrômico inorgânico, hoje em dia dispositivo electrocrômico usa WO3 como matéria-prima foi colocado em produção industrial. A película fina electrochromic do óxido de tungstênio amarelo usa a propriedade electrochromic de WO3, produzida pela deposição física da fase do vapor, deposição da fase química do vapor e evaporação elétrica do feixe com baixo custo, reversibilidade bem cíclica, propriedade óptica, propriedade rápida da mudança da cor. Pode ser aplicado na janela esperta, na janela do edifício, no espelho de rearview e no outro campo. Seu mecanismo de mudança de cor: WO3 (colorless) +xM+xe→Mx WO3(dark blue)
O eletrocromismo de óxido de tungstênio amarelo está relacionado à sua microestrutura, ele pode ser dividido em três grupos diferentes de acordo com seu método diferente em poder de absorção inclui material eletrocrômico, material de cromatografia térmica e material fotocromático.
A pulverização por magnetron de radiofrequência produz um processo de filme fino eletrocrômico de óxido de tungstênio amarelo cerâmico:
1.Limpe ITO primeiro com água desionizada, etanol, acetona e máquina de oscilação por ultra-som, cada um por 15 minutos.
2.Retire o bloco de teste e fundi-lo, colocá-lo em câmara de vácuo para revestimento de pulverização catódica.
3.Depois de o substrato ser colocado numa câmara de vácuo, foi bombeado para cerca de 3 × 10-3, depois condensado para 2 × 10-6 durante meia hora. O substrato é aquecido à melhor temperatura. Então introduza o gás de Ar à atmosfera de O2 para depositar na atmosfera de oxigênio diferente, a superfície do alvo é sputtered para remover a camada da impureza e do óxido, poder sputtering é ajustado a 100W.