黄色酸化タングステンターゲット
黄色酸化タングステンターゲットは、適切なプロセス条件下でスパッタリング法により基板上にWO3機能性膜を形成する複数のアークイオンプレーティング又はコーティング系の他の種類によって、被覆対象とマグネトロンスパッタリングとしてWO 3を用いて形成されます。WO3薄膜は、重要な機能材料であり、優れたエレクトロクロミック特性を有し、広く使用されています。黄色酸化タングステンターゲットの一般的な調製方法は、固相法、液相法および気相法です。次のように製造方法は次のとおりです。ボールミルプレス-sintering。
黄色酸化タングステンターゲットSEM分析は、異なる温度の下で、焼成YTOサンプルは密度、結晶性の結合強度の違いを有することを示しています。SEMの下には異なる温度で焼結黄色酸化タングステンターゲットです。