YTOエレクトロクロミック薄膜

黄色酸化タングステンは、原料が工業生産に投入されているように、今日のエレクトロクロミック素子は、WO 3を使用して、重要な無機エレクトロクロミック材料です。黄色酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜は、物理気相堆積、化学気相堆積及び低コストで電子ビーム蒸着、ウェル環状可逆性、光学特性、高速色変化特性によって産WO 3のエレクトロクロミック特性を使用します。これは、ウィンドウ、バックミラーや他のフィールドを構築し、スマートウィンドウで適用することができます。その色変更機構：WO3（無色）+のMx WO 3→xMのは+ XE（ダークブルー）

黄色酸化タングステンエレクトロクロミズムは、その微細構造に関連して、それが電力を吸収するエレクトロクロミック材料、thermalchromic材料およびフォトクロミック材料を含むその異なる方法に従って三つの異なるグループに分けることができます。

高周波マグネトロンスパッタリング、セラミックターゲット黄色酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜プロセスを生成します。

1.最初の脱イオン水、エタノール、アセトンおよび超音波発振機で清掃ITO、15分間それぞれ。

2.テストブロックを取り出し、それを吹く、コーティングをスパッタリングするための真空チャンバ内にそれを置きます。

3.基板を真空チャンバ内に配置された後に、それは、次に半時間2×10 -6まで濃縮、約3×10 -3にポンプ輸送しました。基板は、最高の温度に加熱されます。次いで、異なる酸素雰囲気中で堆積させるO2雰囲気にArガスを導入し、ターゲットの表面は、不純物及び酸化物層を除去するためにスパッタされ、スパッタパワーが100Wに調整されます。