Jaune d'oxyde de tungstène électrochromique Thin Film

Jaune oxyde de tungstène est important matériau inorganique électrochromique, de nos jours dispositif électrochromique utilise WO3 comme matière première a été mis en production industrielle. Jaune oxyde de tungstène film mince électrochrome utilise la propriété électrochrome de WO3, produit par dépôt physique en phase vapeur, dépôt en phase vapeur chimique et électro évaporation par faisceau à faible coût, la réversibilité et cyclique, propriété optique, la couleur changeant rapidement la propriété. Il peut être appliqué dans la fenêtre intelligente, fenêtre, rétroviseur et autre domaine de construction. Son mécanisme de changement de couleur:WO3 (colorless) +xM+xe→Mx WO3（dark blue）

Électrochromisme jaune d'oxyde de tungstène est lié à sa microstructure, il peut être divisé en trois groupes en fonction de sa méthode différente dans une capacité d'absorption comprend un matériau électrochromique, la matière thermalchromic et un matériau photochromique.

Radio fréquence pulvérisation magnétron produit électrochrome processus de film cible céramique de tungstène jaune mince d'oxyde:

1.Nettoyer ITO d'abord avec de l'eau déminéralisée, de l'éthanol, de l'acétone et de la machine d'oscillation ultrasons, chacun pendant 15 minutes.

2.Retirez le bloc d'essai et souffler, le mettre dans la chambre à vide pour pulvériser le revêtement.

3.Après que le substrat est placé dans la chambre à vide, il a été pompé à environ 3 x 10-3, puis condensé à 2 × 10-6 pendant une demi-heure. Le substrat est chauffé à la température optimale. Puis introduire le gaz Ar O2 atmosphère à déposer dans une atmosphère différente de l'oxygène, la surface de la cible est pulvérisée pour éliminer l'impureté et couche d'oxyde, puissance de pulvérisation est ajustée à 100W.